概要
玻璃基板的印刷工序中的印刷膜厚不良有可能是因为印刷后的热处理不均匀产生的。这个原因取决于搬运时玻璃基板的处理方法。讲解了对策。
讲解
玻璃基板和硅胶基板等的薄板工件要在连续生产线中进行抗蚀剂溶液和各种稀释溶液的印刷处理，在这个印刷处理后进行预干燥和正式干燥。根据这个薄板工件的热处理工序内的薄板工件的处理方式的合适・不合适，有可能会发生印刷不良。在这里，讲解的是搬运线内的工件的处理技术，其可以避免由于薄板工件热处理后的热传导不稳定而产生的印刷品质不良。
(1) 生产线的讲解
・玻璃基板和硅胶基板等的薄板工件在抗蚀剂处理自动化生产线和干燥线中，以一定的时间间隔进行连续的清洗・干燥・印刷・预干燥・正式干燥等的流程处理。
・投入到生产线中的薄板工件，特别是投入不同板厚薄板工件的情况下，在热处理工序中很容易出现印刷膜厚不均匀的不良情况。
(2) 印刷膜厚不良的原因讲解
・在玻璃基板的印刷工序中，印刷装置的操作台，预干燥的操作台的两者中，玻璃基板的处理要通过金属销进行抬起操作。
・用金属销从预干燥工作台上抬起玻璃基板的时候，在金属销的周围部很容易发生印刷膜厚不良的情况（图1）。
・这个不良的原因是因为金属销与玻璃基板接触，被加热的玻璃基板的温度只在与金属销接触的部位被局部冷却，致使印刷后的预干燥处理不完全。
・玻璃基板和硅胶基板的板厚越薄，金属销接触部的印刷膜厚不良就越恶化。
(3) 印刷膜厚不良的对策
・因为金属的热传导率很高，所以从玻璃基板的热能量的吸取变大。
・为了使从金属销吸取的热能量变少，作为对策把金属销的前端置换成热传导率小的材料的构造/变更材料是比较令人满意的（图2）。
